特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門類，是隨著近年來(lái)國(guó)防工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè)，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的，也是我司核心發(fā)展方向之一。
近年來(lái)，隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展，特種氣體的品種也與日俱增，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，現(xiàn)有單元特種氣體達(dá) 260 余種，特種氣體已成為高科技應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的基本原材料。特種氣體從應(yīng)用領(lǐng)域上分為：電子氣體、高純氣體、 標(biāo)準(zhǔn)氣體。
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名稱 |
主要品種 |
發(fā)展情況 |
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電子氣體 |
1、氫化物：超純氨、硅烷、磷烷、砷烷、氫化銻 2、氟化物：六氟化硫、三氟化氮、三氟化硼、五氟化磷、四氟化硅 3、碳氟化合物：四氟化碳、六氟乙烷等 |
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的基礎(chǔ)性材料，廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。
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高純氣體 |
N2、 O2、 H2、 He、 Ar、CO2 等，純度 5N（99.999%） |
高純氣體大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器件、光電子等高科技領(lǐng)域。
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標(biāo)準(zhǔn)氣體 |
1、單元標(biāo)準(zhǔn)氣體 2、多元標(biāo)準(zhǔn)氣體：由兩種或兩種以上組分氣配制而成 |
1、標(biāo)準(zhǔn)氣體是計(jì)量的基準(zhǔn)物質(zhì)，準(zhǔn)確、均勻、穩(wěn)定可靠是重要特征，具有建立測(cè)量的溯源性，保證測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確一致，以及促進(jìn)測(cè)量技術(shù)和質(zhì)量監(jiān)督工作發(fā)展的作用。 2、標(biāo)準(zhǔn)氣基本滿足了我國(guó)石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求。 |